新事業開發商品

產品特色

• 本產品採用特製化且能發揮高洗浄效果之外型設計來針對FPD（Flat Panel Display）基板進行洗浄。
• 透過Shower與超音波的同時洗淨，可達到不再附著灰塵之精密洗浄效果。
• 藉由高周波数＝MEGA-Sonic（950KHz）產生的超音波，來達到溫和除去微細粒子之效果。
• 除平板顯示器FPD以外，表面平整之洗淨均可適用。
• 備有各種尺寸，最大可對應至G10.5世代。
• 1支Nozzle的洗淨能力最大範圍可到3m。

基本規格spec

※ 上述規格以外，請另洽本公司業務窗口。