改造服務
掌握台、日、韓最新技術!!
設備生產能力提升!生產Cost減少!提供節能等方案!
提供所有設備問題，最專業、客製化的解決對策。
產能提升
- Software改造修改，自動化控制相關軟體。
- Cylinder驅動軸改造為伺服馬達驅動，提升精準定位。
- Recipe組數追加、擴編，產品參數多樣化對應。
- ROBOT動作追加或變更，速度加速、流程優化、異常預知。
- 處理Unit的追加或撤除，製程客製化調整。
停產品的對應
- VME系統的PLC化。
- 伺服器、馬達停產替代對應。
- 各式Pump的停產對應。
良率改善方案
- VCD BV追加，實現真空減壓曲線精密控制。
- LC Lift-Pin改善，新構造!新材質!減少發塵!延長使用壽命!
- 顯影 Paddle Nozzle追加。
- AP Plasma追加，去除玻璃表面有機汙染物質。
- Air Knife改良，提升傳送速度、乾燥能力。
- LED式 UV追加，低溫、低靜電。
- LC Satge雷射研磨，提高粗糙度、去除鏡面化、降低靜電值。
- Bake斷熱天板，節能、氣密性、保溫性佳。
Runnig Cost降低
- 複合水殺菌機的採用，水質淨化改善、管路有機汙染去除、預防。
- 蝕刻機台Condenser的追加，提升排氣效能，排氣系統中藥液回收。
- 樹酯塔，銦離子回收、環保與延長藥液使用期限。
未來趨勢對應
- 基板的薄化
- 光阻材料的變更對應。
- SpinCoater 改造為Linear式Coater，節省光阻消耗量、提升塗布均一性、節能優化、裝置穩定度高。
Bake 斷熱天板
運用低熱傳導率複合材質，增加烤箱保溫性，提升加熱效率，減少熱逸散。
提高Bake保溫效果，同時達成節能成效。
LC STAGE LASER研磨
提高粗糙度、去除鏡面化、降低靜電值。
塗布機的石定盤在反覆的使用下，表面粗糙度降低，產生鏡面化。
引起靜電、玻璃吸附等狀況，造成玻璃破裂。
敝公司利用雷射光來進行石定盤維修保養。
*各式天然石材的表面處理可能
VCD Butterfly Valve追加
真空減壓曲線準確化、細緻化、降低硬體差異產生的影響。
氣動式真空閥→全閉式蝴蝶閥。
減壓曲線可以參數進行準確控制，再現性提升。
升級IAPC自動壓力控制系統。
IAPC(Intelligent Auto Pressure Control)
IAPC是由SCREEN Finetech Solutions株式會社開發的自動壓力制御功能。
將BV(Butterfly Valve)以角度控制減壓曲線、進化為依據時間、目標壓力，自動進行各STEP的角度控制。
不同設備的硬體差異，會使同樣Process Data，產生不同減壓曲線。
藉由IPAC專有的「學習機能」和「PID控制」， BV角度進化為自動制御。
IAPC的Process Data只須設定到達時間、壓力值，即可自動調整BV角度輸出條件，完成設定條件。
減少硬體差異、提供更好的再現性VCD處理。
(※本機能不包含回復大氣壓的的正壓控制)。
LC Lift-Pin改善
新構造!新材質!減少發塵!延長使用壽命!
LC Lift-Pin因碰觸等原因，造成Lift Pin彎曲，並與Bush摩擦造成發塵。Bush和Pin摩擦產生的髒汙，附著在Pin前端下方以及Bush接觸點。髒汙可能掉落於石定盤、基板上，造成塗佈不良、Pattern剝離與Butterfly Mura等製程影響。
改善版的Lift Pin將Pin的構造由分段式改為一體式，減少Particle發生的問題。
．解決分段部彎曲問題。
．中間部Free，解決應力問題，不會與Bush摩擦，減少Pin的髒污。
