DISPLAY用COATER DEVELOPER LINE(面板顯示器用塗布顯影設備)
塗布顯像設備SK系列
COATER DEVELOPER SK series
Coater system: https://www.screen.co.jp/ft/en/products#01
SK系列
世界銷售實績第一的大型TFT ARRAY製程用塗布顯像設備,可對應基板G4以上。
塗布方式可採用線性塗布或是氣浮方式。
SK-N系列
在大型ARRAY用的實績基礎所開發出高規格設備,
可對應生產LTPS(低溫多晶矽)、TFT等的高精細面板。
SK-E系列
長年累積之液晶顯示器用塗布顯影機經驗所開發出特規設備,可對應生產OLED面板。
FLEXIBLE DISPLAY 用 PI COATER LINE
應用於量產顯示器之PI基板
Enables Mass Production of High-Quality Flexible Substrates
Coater system: https://www.screen.co.jp/ft/en/products/sk-p_series
SK-P 系列
『高黏度PI Varnish(數千mpa・s)的薄膜塗佈、
可對應到八代大尺寸玻璃基板的洗淨機~Polyimide材料塗布~乾燥的一連貫製程,可快速提升量產的生產性。』
手動式塗布設備RESEARCH COATER
可多樣性對應塗布條件以及材料
實現高精密塗布均一性之小型塗布設備
Supports a wide range of coating conditions and materials, achieving exceptional coating uniformity!
LC-R300G/LC-R400G 系列
是一台能夠廣泛對應各種塗布條件或材料,並實現高精度的塗布均一性的Slit式塗布設備。
依據選定的設備尺寸,可以設置(選配)環境控制Chamber,使之可以在控水氧的環境下進行塗布實驗。
DISPLAY用WET LINE(面板顯示器用濕式設備)
大型TFT ARRAY 製程
所採用之WET設備
Tried and true wet processing systems for large TFT arrays
Wet process: https://www.screen.co.jp/ft/en/products#03
TE系列
枚葉式濕式蝕刻設備,採用各種Spray+Nozzle可選擇傾斜或是水平搬送方式可實現優越的蝕刻處理。
TR系列
枚葉式光阻剝離設備,採用Multi Scan Jet剝離工具以及傾斜式搬送方式可實現高強度剝離性能。
DISPLAY 設備
NEW VISION設備